내부 20,000/시료
외부 50,000/시료

* 12시간 초과시 시간당 4,000원 추가 과금

일정온도에서 기체의 압력을 변화시켜 가면서 고체 표면에 흡착한 기체의 양을 측정함으로서 재료의 비표면적을 분석

질소가스 흡착방식으로 비표면적 및 기공분포 측정

Pressure Measurement: 0 to 950 mmHg
Resolution: Up to 1 x 10-7 torr (0.1 mmHg transducer)
Accuracy: > 0.15% of reading
Degas System: Ambient to 450 °C, 1 °C increments

내부 Imaging: 40,000/시간, EDS: 10,000/Point, Coating: 10,000/시료
외부 Imaging: 80,000/시간, EDS: 30,000/Point, Coating: 20,000/시료

고해상도를 요구하는 재료의 국부 영역의 상 관찰
EDX를 이용한 화학 성분 분석 가능

전자빔을 이용한 현미경으로 금속, 무기물질, 고분자의 표면과 단면구조를 분석하는 장비로써 표면구조의 3차원적 image 를 제공한다. 조직을 간단한 시편 제작으로 쉽게 관찰할 수 있고, 재료의 정보를 간단하게 알려준다.

Resolution standard: 1.3nm @ 1kV, 1.0nm @ 1kV (beam decal., T3)
Landing energy range: 20eV ~ 30ke
Stage range: 110x110x65mm(x,y,z), -15º~90º tilt
Accessory: EDX, Pt coater