내부 20,000/시간(Tip 별도 준비)
외부 50,000/시간(Tip 별도 준비)

미세한 시료의 표면 형상의 3차원적 분석
MFM, EFM를 이용한 자기적, 전기적 형상 측정 가능

시료와 탐침 사이의 원자힘(인력 or 척력)을 이용하여 물질 표면의 형상 및 기계적, 물리적 특성을 측정할 수 있는 장비

XY Scanner
50 µm × 50 µm (optional 10 µm × 10 µm or 100 µm × 100 µm)
Resolution: 0.05 nm
Position detector noise: < 0.25 nm (bandwidth: 1 kHz)
Out-of-plane motion: < 2 nm (over 40 µm scan)

내부: 기본 10,000/point, 10,000/시간 추가,
외부: 기본 20,000/point, 10,000/시간 추가

Raman imaging and analysis, Fluorescence imaging, dark-field imaging에 이용됨.
이외에 PL 측정에도 활용가능.

분자진동에너지보다 큰 에너지를 주면 분자와의 상호작용을 통하여 에너지 변화를 일으키게 되는데 이것이 Raman 산란이고, 분자의 진동 에너지가 고유하기 때문에 특정 물질의 고유 band를 볼 수 있어 분자의 구조 및 결합에 따른 성분 분석이 가능

Laser module
    Multiple excitation lasers
    Power control: Includes 11 steps motorized ND filter controller
    Laser filter selector: Motorized 3-positioning laser filter selector
    < 1㎛ x, y spatial resolution and < 2㎛ depth resolution with true confocal design. 

내부 Normal: 50,000원/시료 (기본 5원소), 원소 개당 초과시 1만원,
Depth profile: 50,000원/시료 (기본 5원소), 원소 개당 초과시 1만원

외부 Normal: 100,000원/시료 (기본 5원소), 원소 개당 초과시 1만원,
Depth profile: 150,000원/시료 (기본 5원소), 원소 개당 초과시 1만원

박막 재료의 표면에서 조성과 각 원소의 결합 상태에 관한 정보를 얻기 의하여 사용. 
박막의 두께에 따른 조성 변화의 측정 가능, 각 조성의 정량 분석 가능.

초고진공 중에 위치한 고체 표면에 특성 X-ray를 조사하여 시료내에 전자를 밖으로 튀어나오게 하여 그 전자의 운동에너지와 강도를 측정하는 것에 의해 물질 내에 있는 고유의 전자 결합에너지, 전자의 에너지 준위와 양을 측정하는 장비

Range Of motion: 100 - 4000 eV
X-Ray Monochromator: Al Ka Micro-focused
X-Ray Spot Size: 30 - 400 µm in 5 µm steps
Sampling Area: 60x60 mm
Thickness (Metric) Max. Sample: 20 mm